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首頁 >高斯摩(成都)國際貿易有限公司> 技術文章> ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U8HSP
ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U8HSP
2025/07/04 13:46:20
ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U8HSP
ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U8HSP
低溫泵是一種伸縮式真空泵,旨在實現從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內部的低溫表面上,并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點是可以提供無油污染的清潔真空。
此外,值得注意的是,低溫泵盡管使用吸附方式,但與其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環境的各個行業和研究部門。
在考慮安裝低溫泵時,其高性能和提供清潔真空環境的能力是一大優勢。
長處
非常適合濺射工藝。
氬氣的排量約為傳統型號 (U8H) 的 2.5 倍。
氫氣的抽速約為傳統型號 (U8H) 的 1.2 倍。
再生間隔更長,有助于提高設備的運轉率。
可進行多次作(*多 3 臺)。
隔膜式干式真空泵
DTC-22
DTC-22A
DTC-22B
DTC-22C
DTC-41
DTC-41C
DTC-41D
DTC-41E
DTC-41F
DTC-22K
DTC-60
DTC-41K
DTC-41KC
DTC-41KD
DTC-41KE
DTC-41KF
DTC-120
DTC-120D
DTC-120E
規范
抽速 (20°C) | 氮 | L/s | 1,700 |
氫 | 3,200 | ||
氬 | 1,400 | ||
水 | 4,000 | ||
極限壓力 | 帕(托) | 10-7(10-9) | |
*流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1,2×103(8.9) |
氫 | 2.4×10%2(1.8) | ||
排氣量 | 氬 | Pa?L (Torr?L) | 2,5×108(1.9×106) |
氫 | 1.0×106(7.8×10)3) | ||
冷卻下降時間 (電源循環) |
*小(Hz) | 125/115(50/60) | |
進氣法蘭 | UVG-200,6BANSI,UFC-253 | ||
壓縮機組 | C10T、C10AT | ||
質量 | 公斤 | 33.2 |
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋:
真空設備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(PVD/CVD):用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備:濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術:OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。