首頁 >高斯摩(成都)國際貿易有限公司> 技術文章> ULVAC愛發科 冷陰極電離真空計 SC1
ULVAC愛發科 冷陰極電離真空計 SC1
2025/07/07 14:31:44
ULVAC愛發科 冷陰極電離真空計 SC1
ULVAC愛發科 冷陰極電離真空計 SC1
“Model:G-TRAN” 是一種真空計,基于以下理念開發的:(1) 降低設備成本,(2) 節省空間,(3) 減少配線,以便將各種設備的過程控制集中化和小型化。
它由傳感器單元和顯示單元的基本單元組成,可以根據應用進行組合。
長處
測量元件與測量電路的集成結構
模擬和設定點輸出
獨立的偽對數輸出和設定值輸出(顯示單位)
48 x 96mm DIN 標準尺寸(顯示單元)
用
用于半導體和電子元件等各種制造設備的過程控制
用于各種工業設備(如熔爐)的過程控制
用于對具有許多工藝腔室的各種制造設備進行過程控制,例如在線和單晶圓類型
規范
類型 | 傳感器單元 | ||
型 | SC1 | ||
自適應測量元件 | C-21、23、24、25 | ||
測量壓力范圍 | 1.0×10-5 ~ 1.0 帕 | ||
測量精度 | +*, -50%(1.0×10-4 ~ 1.0×10-1) | ||
工作溫度范圍 | 10 ~ 40°C | ||
測量值輸出 | 非線性輸出:DC0V ~ 10V(HV-OFF 時為 10V) | ||
SETPOINT1/2 調節輸出 | 非線性輸出:DC0 ~ 10V | ||
控制輸入信號 | HV 開/關 | ||
輸出信號 | 集電極開路,負邏輯 | ||
控制輸出信號 | 放電確認/設定點 1/2 | ||
LED 指示 | 功率、HV、壓力保護、設定點 1/2 | ||
權力 | DC24V±2V、150mA | ||
輸入/輸出連接器 | D-sub - 15 針(M2.6 螺絲) | ||
體重 | 430g (不包括測量元件) | ||
附屬品 | 1 個 I/O 連接器 | ||
快速手冊 1 份 |
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋:
真空設備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(PVD/CVD):用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備:濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術:OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。