ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵 UTM1000A-MS

2025/07/03 16:11:18

渦輪分子泵是實(shí)現(xiàn)高真空環(huán)境的重要設(shè)備，廣泛用于半導(dǎo)體制造和研究設(shè)施。該泵通過高速移動(dòng)分子來有效地產(chǎn)生真空。

渦輪分子泵由高速旋轉(zhuǎn)的轉(zhuǎn)子和固定定子組成。轉(zhuǎn)子的葉片與分子碰撞，使分子加速流向排氣口，從而產(chǎn)生真空。這個(gè)過程利用分子的動(dòng)能并且非常高效。

與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有非常高的抽速，可以快速準(zhǔn)備真空環(huán)境，并且由于不使用油，可以提供清潔的真空環(huán)境，非常適合半導(dǎo)體制造等精密工作，并且具有從低真空到高真空的廣泛適用性，并應(yīng)用于各種行業(yè)和研究領(lǐng)域。

這是一種渦輪分子泵，帶有一個(gè)使用磁浮軸承的獨(dú)立控制器。我們擁有排氣速度為 300~4000L/s 的型號(hào)陣容。控制器可以監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)并支持各種通信標(biāo)準(zhǔn)。

ULVAC愛發(fā)科渦輪分子泵 UTM1000A-MS

長處

泵體和控制器部分分離，

可在控制器部分監(jiān)控運(yùn)行狀態(tài)，并兼容各種通信標(biāo)準(zhǔn)。

自由安裝方向由于對

安裝方向沒有限制，因此擴(kuò)大了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。

抽速 300L/s ~ 4000L/s 級(jí)

可在泵速的 25 ~ * 范圍內(nèi)改變變

速，并可調(diào)節(jié)腔室壓力。

高耐用性和安全性它已通過各種安全確認(rèn)測試，例如

大氣進(jìn)入測試和著陸測試。

用

各種設(shè)備的

真空主排氣系統(tǒng) - 半導(dǎo)體制造設(shè)備

- 氣相沉積設(shè)備

- 濺射設(shè)備

- 分析設(shè)備，實(shí)驗(yàn)室設(shè)備等

- 研發(fā)設(shè)施

輕工藝主排氣系統(tǒng)，無副反應(yīng)產(chǎn)物

其他高真空排氣應(yīng)用

規(guī)范

表 1

型			UTM300A-MS		UTM400A-MS		UTM800A-MS		UTM1000A 質(zhì)譜儀
進(jìn)氣口			VG100 / ICF152		VG150 / ICF203				VG200 / ICF253
排氣口			KF25 系列				肯氟烴40
冷卻方式			水冷式	風(fēng)冷	水冷式	風(fēng)冷	水冷式	風(fēng)冷	水冷式	風(fēng)冷
極限壓力 *1		帕	10-7				10-8
抽速 *2	注 2	L/s	320		420		800		1080
	氦氣	L/s	ー
	他	L/s	340		360		800		930
	H2 系列	L/s	320		340		700		790
壓縮比	注 2		1×109
	他		8×104
	H2 系列		1×104				4×103
入口壓力 3		帕	200	1.3	200	1.3
排氣口壓力 3		帕					665	40	665	40
轉(zhuǎn)速		轉(zhuǎn)速	45000				35000
啟動(dòng)時(shí)間			5 分鐘內(nèi)
安裝方向			可全向安裝
表面處理			鍍鎳
冷卻水	流量	升/分鐘	1~3	ー	1~3	ー	1~3	ー	1~3	ー
	水壓	MPaG	02~0.5	ー	02~0.5	ー	02~0.5	ー	02~0.5	ー
噪聲		分貝（A）	60
質(zhì)量		公斤	14				33		32
的輔助泵			200L/min 或更高				500L/min 或更高
控制器	配置		分開
	輸入功率		單相 AC200 ~240V ±10%（50/60Hz ±2Hz）
	*功率要求	千伏安	0.55				1.0
	變速功能		運(yùn)行速度可在泵轉(zhuǎn)速的 25% ~ * 之間變化（設(shè)置以 0.1% 為增量）
	外部控制		觸點(diǎn)輸入和輸出
			RS-232C / RS-485
	質(zhì)量	公斤	8