ULVAC愛發科濺射離子泵 GST-07L-B

2025/07/03 15:45:17

濺射離子泵使用電場和磁場使氣體分子電離。電離分子被電場加速并與固體目標表面碰撞。這種碰撞導致分子嵌入表面并產生真空。該工藝對于去除惰性和反應性氣體特別有效。

濺射離子泵是精密實驗和制造工藝的理想選擇，因為它們可以實現 10^-11 Torr 或更低的高真空，并且沒有機械運動部件，因此使用壽命長，維護成本低，并且不使用油來提供清潔、無污染的真空環境。此外，與其他真空泵相比，它具有功耗更低、能效更高等優點。

ULVAC愛發科濺射離子泵 GST-07L-B

這是一款帶有 CPU 的多功能濺射離子泵控制器。

長處

通過緊湊輕巧

的 CPU 實現多功能。

這個裝置可以控制所有濺射離子泵（型號：PST）。

通信設備為標準設備外部

通信控制功能為標準設備，因此可以進行遠程控制和自動化作。

兼容 XHV 的

自動啟動電路和軟啟動功能可*限度地減少泵單元的污染。（→ 號 1340297 正在申請中）

配備安全功能、防止作開關誤作

的功能以及用于各種保護的聯鎖功能。采用具有優異耐熱性和耐寒性和電氣性能的 Hyflon 含氟聚合物制成的高壓電纜。

符合限制使用某些有害物質（RoHS 指令）。

兼容 CE 標志。

用

粒子加速器

電子顯微鏡

分析儀器

規范

組合泵		演員泵（所有型號：PST）
工作壓力		10-2 到 10-4Pa 或更低
顯示范圍	顯示方式	數字顯示（7 段 LED 顯示）
	顯示什么？
	a）輸出電流指示	馬。自動切換 2 個 μA 范圍（線性顯示）
	b）輸出電壓指示	DC0.0~7.5kV （H 或 L）（1 檔線性顯示）
	c）壓力顯示	Pa， mbr （1×10-8~1×10-2Pa）（ 1×10-10~1×10-4mbar 的
輸出開路電壓		DC+7.5kV （H.L的兩點設定可通過面板開關切換，H.L的設定電壓約為1.0~7.5kV，音量可變）
輸出電流		DC31 mA 或更低
輸入電壓和電流		AC100~115V±10% ? 50/60Hz~3.0A AC200~240V±10% ? 50/60Hz~1.5A
MONITOR 引腳輸出信號		面板 7：輸出信號與段顯示成正比，各量程 DC0~10V F.S. 100kΩ 以上
壓力設定值		2 積分
遠程/本地		通過前面板開關切換
具有各種輸入功能（帶 REMOTE 連接器）（遙控、安裝 RS232C 通信控制）
保護特性		具有各種保護功能的錯誤指示/顯示高壓（HV）輸出關閉（ERR 0~8）啟動保護定時器設置（1~255 分鐘可變）停電后自動恢復（ HV-HOLD 開關作）
使用環境	溫度范圍	0~40°C
	濕度范圍	85% 或更低（無冷凝）
附屬品		輸入電纜 3m
質量		本體：約 4 公斤
尺寸寬 x 高 x 深		W240×H99×D370mm（不含機架安裝支架）