ULVAC愛發科油旋轉真空泵 VS750B-A

2025/07/07 14:17:40

型號：VS650B/VS750B是一款旋片式（單級）油旋轉真空泵。除了選擇風冷或水冷外，還可以通過組合機械增壓泵獲得更大的排量。

此外，它還具有內置的油霧分離器和回油機構，可長期提供穩定的排氣性能。此外，它的設計還考慮到了易于維護，例如更換油和元件。

ULVAC愛發科油旋轉真空泵 VS750B-A

長處

機械增壓泵（MBP）可以直接安裝

MBP 安裝套件無需安裝即可安裝 MBP。

標配恒溫器通過使用

恒溫器，該恒溫器可檢測泵中的異常溫度升高，并通知您油量減少或泵中的異常。

油霧過濾器：大型油箱，內置大型油箱

（油量：23~30L），減少換油頻率。

油箱內置了易于更換的筒式油霧過濾器。

油霧過濾器收集的油會自動返回到泵中。

濾油器用于去除與油混合的灰塵。

用

光學薄膜沉積系統

反射鏡沉積設備

裝飾氣相沉積設備

薄膜收卷和沉積設備

在線濺射設備

烘烤爐 / 熱處理爐

冷凍干燥設備

泄漏測試設備

太空室

規范

型				VS650B-A 系列	VS650B-W 系列	VS650B-WL 系列※1	VS750B-A 系列	VS750B-W 系列
設計抽速		50 赫茲	m3 / 小時（L/min）	650（10,833）		600（10,000）	750（12,500）
		60 赫茲		750（12,500）			我不會開車
極限壓力	GP 已關閉		帕	≦ 8
	GP 開放			≦ 70
功耗（極限壓力下）		50 赫茲	千瓦	8			11
		60 赫茲		11			ー
發動機	型			全封閉風扇式三相異步電動機
	能力		kW （極數）	22（4）
	電壓	50 赫茲	V	200~240 / 380~415
		60 赫茲		200~240 / 380~460
Noise 值※2 （極限壓力下）		50 赫茲	分貝	75		72	80
		60 赫茲		80			ー
使用的油				ULVOIL R-72
所需油量			L	23~27	25~30°C		23~27	25~30°C
冷卻方式				風冷	水冷式		風冷	水冷式
冷卻水	入口壓力		MPaG	ー	≦0.5		ー	≦0.5
	入口壓差			ー	≧0.1		ー	≧0.1
	冷卻水量		升/分鐘	ー	≧3.0		ー	≧3.0
	冷卻水溫度		°C	ー	5~30		ー	5~30
	冷卻水 Δt			ー	≦60		ー	≦60
進氣法蘭				DN 100 ISO-K
排氣口法蘭				DN 100 ISO-K
質量			公斤	約 820

ULVAC（愛發科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業的企業，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫療等行業提供核心技術支持。
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。

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ULVAC愛發科 油旋轉真空泵 VS750B-A

規范

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