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ULVAC愛發科 旋片式干式真空泵 DSB-151
2025/06/30 15:23:41
ULVAC愛發科 旋片式干式真空泵 DSB-151
ULVAC愛發科 旋片式干式真空泵 DSB-151
旋片干式真空泵是由轉子、氣缸、葉片等組成的機械真空泵。
由于其結構簡單,能夠在低真空范圍內獲得較大的抽速,因此被廣泛用作吸附和輸送機械的真空源。
標準型 / 單級排氣系統 / 帶輸入端子臺(無線)
長處
體積小,排量大。
可根據設備選擇進排氣口位置。
在氣體接觸部分不使用油的干式真空泵。
它可以在大氣壓下運行。
結構簡單,易于維護。
用法說明
1如果泵在負載運行期間停止,然后立即重新啟動,則可能無法重新啟動。
在這種情況下,請將泵內部恢復到大氣壓。
2請勿吸入腐蝕性氣體、有機溶劑、液體或可凝性氣體(水蒸氣等)。
此外,不要讓污垢或灰塵進入泵。
3電機沒有內置保護功能。
用電機斷路器保護電動機。
4由于結構的原因,排氣中可能存在磨損的碳顆粒。
規范
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單位 | 50 赫茲 | 60 赫茲 |
設計抽速*1 | 升/分鐘 | 167 | 200 |
極限壓力 | 帕 | 15.0×10 元3 | |
使用的電動機*2 |
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三相, 200~277V/346~480V, 370W, 4P | |
滿載電流 | 一個 | 1.70 (200~242V) | 1.80 (200~277V) |
1.0 (346~420V) | 1.05 (346~480V) | ||
質量 | 公斤 | 21 | |
進氣口和排氣口直徑(內螺紋尺寸) | 毫米 | 外徑 Φ21×內徑 Φ16 (G 1/2) | |
環境溫度范圍 | °C | 7~40 | |
*尺寸 | 毫米 | 237(寬)×413(長)×260(高) |
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋:
真空設備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(PVD/CVD):用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備:濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術:OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。