ULVAC愛發科熱陰極電離真空計 SH200-E

2025/07/07 14:33:38

這是傳感器式真空計“型號：G-TRAN”多離子真空計的*號，可以連接不同測量范圍的測量元件。該產品是 B-A 型電離真空計，能夠測量高真空。延續了傳統壓力測量和低運行成本的理念，它已被改進為更加用戶友好。

長處

可連接不同測量范圍的傳感器：多離子計允許根據應用選擇測量元件

緊湊性：比傳統產品小得多（控制器體積減少 56%），是世界上*小的級別

可用性改進：可以通過 PC/智能手機連接設置設定點、狀態檢查等。

ULVAC愛發科熱陰極電離真空計 SH200-E

產品陣容充實：除了模擬輸出規格（SH200-A）和串行通信規格（SH200-R）之外，還將增加EtherCAT規格（SH200-E）

燈絲壽命通知功能：燈絲電量監控可提前通知燈絲壽命

壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空（1×10）+5~5×10-8Pa）（連接了可選單元 SWU10-R 時）

的大氣壓力測量：可以檢查腔室打開時的大氣壓力（當連接到可選單元 SAU 時）

型		SH200-A 型	SH200-R 系列	SH200-E（即將發布）
規范		標準規格	串行通信規格	EtherCAT 規范
自適應多離子計傳感器		M-44（NW16）、M-45（NW25）、M-46（ICF070）
可連接的傳感器		多離子真空計傳感器：1 皮拉尼真空計 SWU10-R：1（可選）大氣壓力傳感器 SAU：1（可選）
重復性（N2）		SH200 獨立模式：±2%
采樣時間		60ms 5 移動平均線處理
測量值輸出		輸出電壓 DC 0~10V LOG 輸出 0.75V/個位數壓力轉換公式 V=7.25+0.75×（LogP-2） P=10^{（V-7.25）/0.75+2}
更新時間		60 毫秒
控制輸入信號		使用 FIL ON/OFF、FIL 1/2、DEGAS ON/OFF 集電極開路輸入、負邏輯 * FIL ON/OFF 信號根據模式的不同而使用不同	-	-
控制輸出信號		傳感器錯誤，設定點 1/2/3，發射有效，燈絲功率監控額定值：24V MAX，50mA MAX，1V 飽和電壓	-	-
串行通信規格		-	RS232C/RS-485 接口	EtherCAT 技術
LED 指示		POWER/ERROR：電源、錯誤 LED（閃爍狀態根據每種模式而變化）
		SET1：設定點 1 LED SET2：設定點 2 LED SET3：設定點 3 LED	-	-
發射電流		1mA（1×10-3Pa 或更低）、10 μA （1×10-3PA 或更高）
DEGAS		電子轟擊 1 mA，330 V
傳感器耐壓		2×10+5Pa （壓力）法蘭和卡箍等耐壓性必須單獨考慮。
傳感器內部容積		17 厘米3（M-44），19 厘米3（M-45），17 厘米3（M-46）
工作溫度范圍		10~50°C
工作濕度范圍		15~80% （無結露）
儲存溫度		-20~65°C（斷電時，無冷凝）
IP 防護等級		IP30 防護等級
電源電壓		DC20~28V（紋波、噪聲 1% 以下）、8W 以下
輸入/輸出連接器		D-sub 15 針（M2.6 螺絲）
質量		控制器：約 280g 測量元件（M-44、M-45）：80g、（M-46）：300g
尺寸 W×D×H		69mm×63mm×90mm（控制器）
法規遵從性		CE
Op-syeong （奧普祥）	多離子計傳感器	M-44 （NW16）、M-45 （NW25）、M-46 （ICF070）材質：細絲 1,2 -Ir/Y2O3 涂層其他：PtC-Mo、SUS304、W、可伐合金玻璃、可伐合金/鎳鍍層
	皮拉尼真空計	SWU10-R *兼容傳統 SPU
	皮拉尼儀表傳感器	SWP-16（NW16）， SWP-25（NW25）， SWP-R1/8（R1/8）， SWP-P18（Φ18管端）， SWP-P15（Φ15管端）材質：細絲-Pt，其他-BS/Ni，電鍍， Ni，焊錫
	氣壓傳感器	SAU（NW16）材質：SUS316L
	單元電纜	GUC-200P（用于 SWU）：0.5m、1m、2mGUC-200A （用于 SAU）：0.5m、1m、2m
	顯示單位	1CH：ISG1（使用 24V DC 電源）
	顯示單元電纜	SH200 ~ 顯示單元電纜 2m， 5m， 10m， 15m， 20m， 25m， 30m， 35m， 40m
	連接器	輸入/輸出連接器（D-sub15-soket（M2.6mm 螺絲））
	其他	檢驗報告、通用校準檢驗報告、JCSS 校準證書

用

用于半導體和電子元件等各種制造設備的高真空范圍內的過程控制

用于檢查具有許多工藝腔室的各種制造設備（如在線和單晶片類型）在高真空范圍內的極限壓力

用于高真空和高真空設備的壓力測量

ULVAC（愛發科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業的企業，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫療等行業提供核心技術支持。
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。

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ULVAC愛發科 熱陰極電離真空計 SH200-E

ULVAC愛發科熱陰極電離真空計 SH200-E