EBARA荏原 干式真空泵 EV-S200P
EBARA荏原 干式真空泵 EV-S200P
EBARA荏原 干式真空泵 EV-S200P
干式真空泵有多種類型，常見的有爪式干泵、螺桿式干泵和渦旋式干泵等。爪式干泵通過兩個相互嚙合的爪形轉子實現氣體的吸入和排出，具有結構簡單、運行平穩的優點。螺桿式干泵則利用兩根相互嚙合的螺桿轉子進行氣體壓縮，適用于高流量和高真空度的場合。渦旋式干泵通過兩個相互錯開的渦旋盤來實現氣體的壓縮和排出，具有低噪音和高效率的特點。每種類型的干式真空泵都有其的優勢和適用場景，用戶可以根據具體需求選擇合適的類型。
干式真空泵的應用領域
在半導體制造行業中，干式真空泵的應用至關重要。半導體生產過程中需要極高的潔凈度和的真空環境，以避免任何微小的污染影響芯片的質量和性能。干式真空泵在晶圓加工、薄膜沉積、離子注入和光刻等關鍵工藝中發揮著重要作用。例如，在化學氣相沉積（CVD）過程中，干式真空泵能夠有效去除反應氣體和副產物，確保薄膜的均勻性和純度。此外，干式真空泵在蝕刻工藝中也廣泛應用，通過提供穩定的真空環境，確保蝕刻過程的控制和高效進行。
EBARA（荏原制作所）是日本*的工業設備制造商，成立于1912年，部位于東京。憑借百年技術積淀，荏原以“為地球環境和社會基礎設施提供創新解決方案”為使命，業務涵蓋水泵、風機、壓縮機、環保設備及能源系統等領域，產品以高可靠性、節能性和*技術聞名全球。
核心業務與技術優勢
荏原的核心產品包括：
流體機械：全球*的水泵及系統解決方案，廣泛應用于市政供水、工業循環、污水處理等領域，其高效節能設計顯著降低碳排放。
環境工程：提供污泥處理、廢氣凈化等環保技術，助力可持續發展。
能源設備：蒸汽輪機、燃氣壓縮機等產品服務于石油、化工及新能源產業。
半導體制造設備：高純度真空泵等產品支撐電子行業精密制造。
