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首頁 >高斯摩(成都)國際貿易有限公司> 技術文章> ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U16P
ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U16P
2025/07/04 13:40:37
ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U16P
ULVAC愛發科 低溫泵 CRYO-U16P
低溫泵是一種伸縮式真空泵,旨在實現從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內部的低溫表面上,并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點是可以提供無油污染的清潔真空。
此外,值得注意的是,低溫泵盡管使用吸附方式,但與其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環境的各個行業和研究部門。
在考慮安裝低溫泵時,其高性能和提供清潔真空環境的能力是一大優勢。
長處
適用于大中型生產設備。
非常適合大規模批量沉積設備。
耐熱負荷。
油回轉真空泵冷卻過濾器
CT-25 CT-40 CT-50 CT-80 CT-100
進氣直徑可選進氣管部件
O.D.Φ8×M20
O.D.Φ12×M20
O.D.Φ15×M20
O.D.Φ18×M20
O.D.Φ22×M20
KF-25×M20 .......等
規范
抽速 (20°C) | 氮 | L/s | 5,000 |
氫 | 10,000 | ||
氬 | 4,200 | ||
水 | 16,000 | ||
極限壓力 | 帕(托) | 10-7(10-9) | |
*流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1,6×10%3(12) |
排氣量 | 氬 | Pa?L (Torr?L) | 4.3×108(3.3×106) |
氫 | 2.4×10%6(1.8×104) | ||
冷卻下降時間 (電源循環) |
*小(Hz) | 120/110(50/60) | |
進氣法蘭 | UVG-400型 | ||
壓縮機組 | 產品 C30VRT | ||
質量 | 公斤 | 61.0 |
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋:
真空設備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(PVD/CVD):用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備:濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術:OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。