ULVAC愛發科渦輪分子泵 UTM1000A-MS

2025/07/03 16:11:18

渦輪分子泵是實現高真空環境的重要設備，廣泛用于半導體制造和研究設施。該泵通過高速移動分子來有效地產生真空。

渦輪分子泵由高速旋轉的轉子和固定定子組成。轉子的葉片與分子碰撞，使分子加速流向排氣口，從而產生真空。這個過程利用分子的動能并且非常高效。

與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有非常高的抽速，可以快速準備真空環境，并且由于不使用油，可以提供清潔的真空環境，非常適合半導體制造等精密工作，并且具有從低真空到高真空的廣泛適用性，并應用于各種行業和研究領域。

這是一種渦輪分子泵，帶有一個使用磁浮軸承的獨立控制器。我們擁有排氣速度為 300~4000L/s 的型號陣容。控制器可以監控運行狀態并支持各種通信標準。

ULVAC愛發科渦輪分子泵 UTM1000A-MS

長處

泵體和控制器部分分離，

可在控制器部分監控運行狀態，并兼容各種通信標準。

自由安裝方向由于對

安裝方向沒有限制，因此擴大了設備設計的自由度。

抽速 300L/s ~ 4000L/s 級

可在泵速的 25 ~ * 范圍內改變變

速，并可調節腔室壓力。

高耐用性和安全性它已通過各種安全確認測試，例如

大氣進入測試和著陸測試。

用

各種設備的

真空主排氣系統 - 半導體制造設備

- 氣相沉積設備

- 濺射設備

- 分析設備，實驗室設備等

- 研發設施

輕工藝主排氣系統，無副反應產物

其他高真空排氣應用

規范

表 1