ULVAC愛發科渦輪分子泵 UTM70B

2025/07/03 16:02:41

渦輪分子泵是實現高真空環境的重要設備，廣泛用于半導體制造和研究設施。該泵通過高速移動分子來有效地產生真空。

渦輪分子泵由高速旋轉的轉子和固定定子組成。轉子的葉片與分子碰撞，使分子加速流向排氣口，從而產生真空。這個過程利用分子的動能并且非常高效。

ULVAC愛發科渦輪分子泵 UTM70B

與其他真空泵相比，渦輪分子泵具有非常高的抽速，可以快速準備真空環境，并且由于不使用油，可以提供清潔的真空環境，非常適合半導體制造等精密工作，并且具有從低真空到高真空的廣泛適用性，并應用于各種行業和研究領域。

這是一種渦輪分子泵，帶有一個使用磁浮軸承的獨立控制器。我們擁有排氣速度為 300~4000L/s 的型號陣容。控制器可以監控運行狀態并支持各種通信標準。

這是一種使用陶瓷滾珠軸承的復合翼型渦輪分子泵。

通過將控制器和泵集成在一起，可以節省空間。

*的高背壓特性也使得減小輔助泵的尺寸成為可能。

長處

由于對安裝方向或

安裝方向沒有限制，因此擴大了設備設計的自由度。

帶有

車載控制器的控制器安裝在渦輪體上，可有效減少配線和縮小排氣系統的尺寸。

高壓縮比和高排氣壓力

壓縮比以及在高背壓下運行的能力使輔助泵的小型化成為可能。

提供三種類型的法蘭：

VG、ICF 和 ISO-K，有三種類型的進氣法蘭可供選擇。

它旨在減少碳氫化合物的回流，不僅在清潔真空

運行期間，而且在泵停止時也是如此。

用

主要用于分析設備、研發設備、實驗室設備等的排氣系統。

氣相沉積設備、濺射設備等的主要排氣系統

用于 H2 和 He 等輕氣體的主排氣系統

型				UTM70B 系列		UTM300B
泵	冷卻方式			自然風冷	強制風冷	自然風冷	強制風冷
	法蘭孔		進氣口 *1	VG65、ICF114、ISO063-K		VG100、ICF152、ISO100-K
			排氣口	KF16 系列		KF16 系列
	抽速（無保護網）		注2	70 升/秒		280 升/秒
			他	60 升/秒		270 升/秒
			H2?型	49 升/秒		220 升/秒
	極限壓力 *2	烘烤后		- *3	10-8帕	- *3	10-8帕
		烘烤前		10-6帕		10-6帕	10-6帕
	*壓縮比			注 2 ： >1×109，他： 4×107、H2 ： 4×105		注 2 ： >1×109，他： 7×106,?H2 ： 1×105
	入口壓力 4， 5， 6		注2	0.43帕	1.1帕	0.06帕	0.7帕
	排氣口壓力 4， 5， 7		注2	300帕	900帕	100帕	1000帕
	連續運行流量 8	無氣體吹掃	注2	15sccm *9	40sccm *9	10 厘米 *10	100 平方厘米 *10
		無氣體吹掃	氦氣	-	10sccm *9	-	30 厘米 *10
		帶氣體吹掃		-	15sccm *9	-	40 厘米 *10
	輔助泵（10SCCM 吸力時）*11			60L/min 或更高		120L/min 或更高
	質量			VG：3.3kg， ISF：3.0kg， ISO：5.0kg		6.0 公斤 / 9.0 公斤	6.3 公斤 / 9.3 公斤
	轉速			87000轉		60000轉
	啟動時間（* 80%）（24 VDC 時，背壓 5 Pa 或更低）			1.7 分鐘		3.5 分鐘
	表面處理 *12			沒有
	安裝方向			全方位
	噪聲 *13			48 dB（A）或更低		50dB（A）或更低
電源規格	輸入功率			DC24V ±5%，120W		DC24V ±5%，180W
	觸點輸入和輸出			REMOTE（D-sub 15 針公頭）4 個數字輸入和輸出，1 個模擬輸出
	串行通信			RS-485 （D-sub 15 針公頭，與 REMOTE 共享）
	LED 指示			電源、正常、警報
	開關			啟動/停止，重置
	變速			轉速可在默認泵數的 25%~* 之間變化（以 0.1% 為增量設置）
	異常檢測			檢測警報、警告
	保護行為			警報、警告
標準配件				使用說明書（CD-R）、保護網（僅限 VG、ICF。 ISO 法蘭集成在墊圈中）、墊圈（用于進氣口）、防塵帽（用于進氣口、排氣口、連接器）各 1 個
適用標準				CE、TUVus

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ULVAC愛發科 渦輪分子泵 UTM70B

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