ULVAC愛發科濺射離子泵 PST-200CXII

2025/07/03 15:49:14

濺射離子泵使用電場和磁場使氣體分子電離。電離分子被電場加速并與固體目標表面碰撞。這種碰撞導致分子嵌入表面并產生真空。該工藝對于去除惰性和反應性氣體特別有效。

濺射離子泵是精密實驗和制造工藝的理想選擇，因為它們可以實現 10^-11 Torr 或更低的高真空，并且沒有機械運動部件，因此使用壽命長，維護成本低，并且不使用油來提供清潔、無污染的真空環境。此外，與其他真空泵相比，它具有功耗更低、能效更高等優點。

ULVAC愛發科濺射離子泵 PST-200CXII

該泵利用濺射活性鈦的吸氣劑作用來增強高真空范圍內的排氣特性。

通過優化新元件和磁場，改善了極端和高真空范圍內的排氣特性。

長處

兼容極端和高真空。 10 帶 ISO 標準測試圓球-9PA 裝置極限壓力演示。

惰性氣體強化排氣型（AU 型）實現了氬氣排氣性能的兩倍。（與我們公司相比）

在高真空范圍內實現大抽速。

可以在短時間內排氣到高真空范圍。

在高真空范圍內具有*的啟動特性。（放電可承受至高真空）

用

粒子加速器

電子顯微鏡

電子束光刻設備

抗振分析儀

使用極端和高真空環境等

型		PST-110AU 型	PST-200CXII 系列	PST-200AXII 系列	PST-400CXII 系列	PST-400AXII
廢氣目標氣體		活性氣體	活性氣體	稀有氣體	活性氣體	稀有氣體
再生抽速*		0.11 米3/s N2 測量氣體時	0.2 米3/s N2 測量氣體時	0.02 米3/s 測量 Ar 時	0.36 米3/s N2 測量氣體時	0.19 米3/s 測量 Ar 時
極限壓力		10-9帕	10-10帕
工作壓力	建議的值	<4.5x10-3帕	<3.8x10-3帕		<3.0x10-3帕
內部卷		6.5 倍 10-3m3	11 倍 10-3m3		14x10-3m3
泵元件數量		AU 型電池 x2	2 個 CX 型電池×	2 個 AX 型電池×	CX 型單元格 × 4 個公式	4 個 AX 型電池×
連接法蘭類型		UFC152的	UFC203
施加電壓		直流+7.5kV
加熱加熱器		無設置	單相 AC200V，600W		單相 AC200V，800W
標準烘烤溫度		250°C
質量		36.5 千克	65 公斤		124 公斤
尺寸 W×D×H		171×387×293毫米	296×361×376毫米		296×544×376毫米
使用環境	溫度范圍	5~40°C
	濕度范圍	85% 或更低（無冷凝）
泵固定螺栓孔尺寸		4 位 - M6 深度 15mm	4 位 - M8 厚度 15 毫米		6 位 - M8 深度 15 毫米
的控制器		商品及服務稅（GST-07L-B）

ULVAC愛發科 濺射離子泵 PST-200CXII