ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 CR60B-T

ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 CR60B-T

ULVAC愛發科 多級羅茨干式真空泵 CR60B-T

多級羅茨干式真空泵是一種在真空室內不使用油或液體的機械真空泵。

在 FPD、電子和半導體行業等領域，需要更清潔的真空，并且需要真空泵來提高產量和可維護性。 *常見的泵是羅茨干式真空泵。

干式真空泵“型號：CR VerB”是一款已獲得國際標準（CE、cTUVus）的風冷羅茨型干式真空泵。

排氣室不使用油，轉子和氣缸以非接觸方式運行，可以長時間穩定運行。

長處

排氣室是非接觸式的，不使用油，因此可以長時間穩定排氣。

由于不需要冷卻水和氮氣，因此有助于降低運行成本。

配備直流屏蔽電機，節能、密閉、輕量化。

氣鎮機構可實現蒸汽排放。

標準：CE、cTUVus

用

真空排氣清潔氣體，如空氣和惰性氣體

真空干燥等水蒸氣排放（必須使用氣鎮）

用于濺射、氣相沉積等的真空設備。

ULVAC（愛發科）是日本*的真空技術和精密設備制造商，成立于1952年，部位于日本神奈川縣。作為全球真空行業的企業，ULVAC專注于真空設備、鍍膜系統、半導體制造設備、分析儀器等高科技領域，為電子、光伏、汽車、醫療等行業提供核心技術支持。
2. 核心技術及產品
ULVAC的核心業務涵蓋：
真空設備：干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術（PVD/CVD）：用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備：濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器：X射線光電子能譜儀（XPS）、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術：OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。