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現貨EBARA荏原 氫氣真空泵 ESA80WN-HDF

發布時間:2025/07/14 19:52:20 發布廠商:深圳市京都玉崎電子有限公司 >> 進入該公司展臺

干式真空泵通過機械運動直接壓縮和排出氣體,無需液體介質,避免油污染問題。其核心結構類型包括:

螺桿式雙螺桿結構:一對等速反向旋轉的螺桿轉子,通過阿基米德螺旋線與擺線輪廓設計形成密閉腔體,實現氣體的連續吸入與排出?13。

間隙控制:螺桿與泵腔保持微米級間隙,減少摩擦損耗,支持高轉速運轉(可達6000 rpm),提升抽氣效率。

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?多級羅茨式??多級串聯設計?:采用多級羅茨葉片轉子,通過逐級壓縮提高極限真空度(可達10?2 Pa),適用于含粉塵或腐蝕性氣體的環境?56。

?無接觸嚙合?:轉子間無物理接觸,通過同步齒輪驅動,降低磨損并延長使用壽命。

渦旋式動靜渦旋盤嚙合:通過漸開線型渦旋盤形成連續壓縮腔,實現無油、低振動運行,極限真空度達10?1 Pa,適用于實驗室和小型設備。

二、性能優勢與創新技術

?無污染與耐腐蝕性?采用全密封結構(如陶瓷涂層、不銹鋼材質),防止潤滑油進入泵腔,確保半導體制造、食品加工等場景的潔凈度?34。

特殊防腐處理(如鍍鎳或PTFE涂層)的泵體,耐受酸性氣體(如Cl?、H?S)和有機溶劑。

智能控制與能效優化?集成變頻調速系統,根據負載動態調節電機功率,能耗降低20%以上。

傳感器實時監測溫度、振動等參數,結合物聯網技術實現遠程故障預警和維護提示。

模塊化與擴展性支持多級串聯或并聯,抽速范圍覆蓋10–1000 m3/h,可適配不同真空需求(如半導體前級泵需搭配分子泵使用)。

快速拆卸設計,更換核心部件(如轉子、密封件)耗時縮短至2小時內,減少停機損失。

三、典型應用場景

半導體制造刻蝕與沉積工藝:在等離子體刻蝕(如反應離子刻蝕)中抽除腐蝕性氣體?

    • ?結構?:活塞在氣缸內往復運動,配以閥門控制氣流。

    • ?工作流程?:活塞后移時吸氣,前移時壓縮氣體并排出。

    • ?特點?:可達到較高真空度,但振動較大。

    • ?半導體工業?:在半導體制造中,渦輪分子泵是制造微電子芯片和半導體器件的關鍵設備。由于半導體工藝需要在高真空環境下進行,渦輪分子泵通過高效抽氣,確保工藝過程中的高真空度,從而保障半導體產品的質量和生產效率?。

    • ?光學工業?:在光學工業中,渦輪分子泵用于真空鍍膜、真空燒結、真空蒸發等工藝。其高真空度、低噪音、低震動的特點,使得光學鍍膜等工藝得以高質量完成?。

    • ?醫藥工業?:在醫藥工業中,渦輪分子泵主要應用于真空干燥、真空蒸餾、真空濃縮等工藝。通過維持高真空度,有效避免藥品的氧化和變質,確保藥品的質量和安全性?。

    • ?食品工業?:在食品工業中,渦輪分子泵用于真空包裝、真空蒸煮等工藝。它能夠快速抽取食品包裝內的氧氣,延長食品的保質期,同時保持食品的原有口感?。

    • ?化工工業?:在化工工業中,渦輪分子泵廣泛應用于真空蒸餾、真空干燥、真空濃縮等關鍵工藝。高真空度的維持對于避免化工產品的氧化和變質至關重要,渦輪分子泵的高效性能為化工生產提供了有力保障?。

    • ?高能物理研究?:在高能物理研究中,渦輪分子泵用于加速器質譜系統等設備中,創造高真空環境,以確保粒子加速和檢測的準確性?。

    • ?其他領域?:渦輪分子泵還廣泛應用于鍍膜、電子、太陽能、真空爐、離子刻蝕、光盤制造、制燈、航空航天、核能源等相關行業和教學、科研單位。



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