干式真空泵通過(guò)機(jī)械運(yùn)動(dòng)直接壓縮和排出氣體，無(wú)需液體介質(zhì)，避免油污染問(wèn)題。其核心結(jié)構(gòu)類型包括：

螺桿式雙螺桿結(jié)構(gòu)：一對(duì)等速反向旋轉(zhuǎn)的螺桿轉(zhuǎn)子，通過(guò)阿基米德螺旋線與擺線輪廓設(shè)計(jì)形成密閉腔體，實(shí)現(xiàn)氣體的連續(xù)吸入與排出?13。

間隙控制：螺桿與泵腔保持微米級(jí)間隙，減少摩擦損耗，支持高轉(zhuǎn)速運(yùn)轉(zhuǎn)（可達(dá)6000 rpm），提升抽氣效率。

?多級(jí)羅茨式??多級(jí)串聯(lián)設(shè)計(jì)?：采用多級(jí)羅茨葉片轉(zhuǎn)子，通過(guò)逐級(jí)壓縮提高極限真空度（可達(dá)10?2 Pa），適用于含粉塵或腐蝕性氣體的環(huán)境?56。

?無(wú)接觸嚙合?：轉(zhuǎn)子間無(wú)物理接觸，通過(guò)同步齒輪驅(qū)動(dòng)，降低磨損并延長(zhǎng)使用壽命。

渦旋式動(dòng)靜渦旋盤嚙合：通過(guò)漸開線型渦旋盤形成連續(xù)壓縮腔，實(shí)現(xiàn)無(wú)油、低振動(dòng)運(yùn)行，極限真空度達(dá)10?1 Pa，適用于實(shí)驗(yàn)室和小型設(shè)備。

二、性能優(yōu)勢(shì)與創(chuàng)新技術(shù)

?無(wú)污染與耐腐蝕性?采用全密封結(jié)構(gòu)（如陶瓷涂層、不銹鋼材質(zhì)），防止?jié)櫥瓦M(jìn)入泵腔，確保半導(dǎo)體制造、食品加工等場(chǎng)景的潔凈度?34。

特殊防腐處理（如鍍鎳或PTFE涂層）的泵體，耐受酸性氣體（如Cl?、H?S）和有機(jī)溶劑。

智能控制與能效優(yōu)化?集成變頻調(diào)速系統(tǒng)，根據(jù)負(fù)載動(dòng)態(tài)調(diào)節(jié)電機(jī)功率，能耗降低20%以上。

傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)溫度、振動(dòng)等參數(shù)，結(jié)合物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程故障預(yù)警和維護(hù)提示。

模塊化與擴(kuò)展性支持多級(jí)串聯(lián)或并聯(lián)，抽速范圍覆蓋10–1000 m3/h，可適配不同真空需求（如半導(dǎo)體前級(jí)泵需搭配分子泵使用）。

快速拆卸設(shè)計(jì)，更換核心部件（如轉(zhuǎn)子、密封件）耗時(shí)縮短至2小時(shí)內(nèi)，減少停機(jī)損失。