干式真空泵通過機械運動直接壓縮和排出氣體，無需液體介質，避免油污染問題。其核心結構類型包括：

螺桿式雙螺桿結構：一對等速反向旋轉的螺桿轉子，通過阿基米德螺旋線與擺線輪廓設計形成密閉腔體，實現氣體的連續吸入與排出?13。

間隙控制：螺桿與泵腔保持微米級間隙，減少摩擦損耗，支持高轉速運轉（可達6000 rpm），提升抽氣效率。

?多級羅茨式??多級串聯設計?：采用多級羅茨葉片轉子，通過逐級壓縮提高極限真空度（可達10?2 Pa），適用于含粉塵或腐蝕性氣體的環境?56。

?無接觸嚙合?：轉子間無物理接觸，通過同步齒輪驅動，降低磨損并延長使用壽命。

渦旋式動靜渦旋盤嚙合：通過漸開線型渦旋盤形成連續壓縮腔，實現無油、低振動運行，極限真空度達10?1 Pa，適用于實驗室和小型設備。

二、性能優勢與創新技術

?無污染與耐腐蝕性?采用全密封結構（如陶瓷涂層、不銹鋼材質），防止潤滑油進入泵腔，確保半導體制造、食品加工等場景的潔凈度?34。

特殊防腐處理（如鍍鎳或PTFE涂層）的泵體，耐受酸性氣體（如Cl?、H?S）和有機溶劑。

智能控制與能效優化?集成變頻調速系統，根據負載動態調節電機功率，能耗降低20%以上。

傳感器實時監測溫度、振動等參數，結合物聯網技術實現遠程故障預警和維護提示。

模塊化與擴展性支持多級串聯或并聯，抽速范圍覆蓋10–1000 m3/h，可適配不同真空需求（如半導體前級泵需搭配分子泵使用）。

快速拆卸設計，更換核心部件（如轉子、密封件）耗時縮短至2小時內，減少停機損失。