LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-5100C
LINTEC琳得科 質量流量控制器 MC-5100C
質量流量控制器是一種被使用在半導體,液晶面板以及其他電子設備制造工程當中,控制氣體或液體質量流量的高精密儀器。由于是利用氣體或液體的質量對流量進行控制,故不受溫度及壓力的影響,可*地對流體進行控制。質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后,部分的氣體從分流器導入質流傳感器,由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號,反饋調節控制閥的開度,以此進行流量的控制。
質流傳感器是由纏繞著高溫度靈敏系數的阻抗線的上流端(RU),下流端(Rd)及環境溫度補慘式質流傳感器(RD)所構成。當氣體未流入時。供給 Ru及 Rd的電壓是相等的,Ru、Rd與 R 保持一定的溫度,當氣體流入時。Ru 及 Rd 部分的熱量被氣體帶走,造成溫度下降,為維持原本與比的溫差,回路會產生電力對Ru及Rd進行加溫。
溫度 | *小壓差 | *壓差 | 精度 | 控制范圍 | *小F.S. | *F.S. | 密封材 |
5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~*F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au |
氣體隔膜隔離閩體及驅動裝置,極大地減小閉死容積。這些特殊設計,可以增強氣體的流通,降低污染物影響,使設備具備高澄換性,保證更長的使用壽命,也更適合于液化氣體等優勢。
LINTEC(琳得科)是一家全球*的高性能膠帶、粘合材料及功能性薄膜制造商,部位于日本,成立于1954年。憑借過半個世紀的技術積累與創新,LINTEC已成為電子、汽車、建筑、印刷包裝等行業的核心材料供應商,以*的產品質量和*的解決方案聞名。
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