LINTEC琳得科 質量流量控制器 MM-3102L-TN

LINTEC琳得科 質量流量控制器 MM-3102L-TN

質量流量控制器（Mass Flow Controller，MFC）是一種用于測量和控制氣體或液體質量流量的關鍵工業設備。

質量流量控制器主要由質流傳感器、分流器、制閥以及控制回路所構成。當氣體流入后，部分的氣體從分流器導入質流傳感器，由質流傳感器所輸出的流量信號比對設定的流量信號，反饋調節控制閥的開度，以此進行流量的控制。

核心技術架構

傳感系統：

熱式傳感：基于King's Law原理，采用毛細管式或旁路式設計，溫度分辨率達0.01℃

壓差式傳感：基于層流元件和壓差傳感器組合，適用于大流量范圍（0.1-5000SLM）

科里奧利式：直接質量測量，精度可達±0.1%讀數

閥體系統：

壓電瓷閥（響應時間<10ms）

電磁比例閥（壽命>10?次循環）

典型應用場景

1. 半導體制造：

晶圓刻蝕工藝（Cl?、CF?等特種氣體控制）

CVD沉積（SiH?/N?O流量比控制±1%）

離子注入（BF?/PH?配氣）

2. 新能源領域：

燃料電池氫氣供應（動態響應<50ms）

光伏硅烷沉積（流量波動<±0.3%）

3. 制藥行業：

生物反應器氣體供應（O?/CO?/N?三聯控）

LINTEC（琳得科）是一家全球*的高性能膠帶、粘合材料及功能性薄膜制造商，部位于日本，成立于1954年。憑借過半個世紀的技術積累與創新，LINTEC已成為電子、汽車、建筑、印刷包裝等行業的核心材料供應商，以*的產品質量和*的解決方案聞名。
核心技術領域
LINTEC的核心業務涵蓋三大方向：
電子材料：生產半導體封裝膠帶、光學薄膜、導電膠帶等，廣泛應用于智能手機、平板電腦及半導體制造，助力高精度電子元件加工。
工業膠帶：提供汽車粘接、建筑密封等高性能膠帶，以耐候性、強粘著力著稱，服務于豐田、本田等企業。
印刷與包裝材料：開發環保型標簽、裝飾膜等，兼顧美觀與功能性，適用于食品、醫藥等行業。