EBARA荏原 干式真空泵 EV-S200

EBARA荏原 干式真空泵 EV-S200

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質的真空泵。與傳統的油封式真空泵相比，干式真空泵具有無油污染、維護簡單、環保性能優越等特點，因此在半導體制造、制藥、化工、食品加工等高潔凈度要求的行業中得到了廣泛應用。

應用領域

半導體制造：在半導體生產過程中，干式真空泵用于晶圓加工、薄膜沉積、蝕刻等工藝，確保高潔凈度的真空環境。

制藥行業：用于藥品干燥、蒸餾和包裝等環節，避免油污染對藥品質量的影響。

化工行業：適用于腐蝕性氣體或易凝結氣體的抽除，滿足化工生產中的特殊需求。

食品加工：在食品包裝和脫氣過程中，干式真空泵確保食品的安全和衛生。

科研領域：用于實驗室的高真空實驗，提供無污染的真空環境。

干式真空泵通過機械運動直接抽除氣體，無需液體密封或潤滑。其工作原理主要依賴于轉子、葉片或螺桿等機械結構的運動，將氣體從進氣口吸入并壓縮，*終從排氣口排出。常見的干式真空泵類型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。EBARA（荏原制作所）是日本*的工業設備制造商，成立于1912年，部位于東京。憑借百年技術積淀，荏原以“為地球環境和社會基礎設施提供創新解決方案”為使命，業務涵蓋水泵、風機、壓縮機、環保設備及能源系統等領域，產品以高可靠性、節能性和*技術聞名全球。
核心業務與技術優勢
荏原的核心產品包括：
流體機械：全球*的水泵及系統解決方案，廣泛應用于市政供水、工業循環、污水處理等領域，其高效節能設計顯著降低碳排放。
環境工程：提供污泥處理、廢氣凈化等環保技術，助力可持續發展。
能源設備：蒸汽輪機、燃氣壓縮機等產品服務于石油、化工及新能源產業。
半導體制造設備：高純度真空泵等產品支撐電子行業精密制造。