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EBARA荏原 干式真空泵 ESA25-D
EBARA荏原 干式真空泵 ESA25-D
干式真空泵通過(guò)機(jī)械運(yùn)動(dòng)直接抽除氣體,無(wú)需液體密封或潤(rùn)滑。其工作原理主要依賴(lài)于轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿等機(jī)械結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng),將氣體從進(jìn)氣口吸入并壓縮,*終從排氣口排出。常見(jiàn)的干式真空泵類(lèi)型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體制造:在半導(dǎo)體生產(chǎn)過(guò)程中,干式真空泵用于晶圓加工、薄膜沉積、蝕刻等工藝,確保高潔凈度的真空環(huán)境。
制藥行業(yè):用于藥品干燥、蒸餾和包裝等環(huán)節(jié),避免油污染對(duì)藥品質(zhì)量的影響。
化工行業(yè):適用于腐蝕性氣體或易凝結(jié)氣體的抽除,滿(mǎn)足化工生產(chǎn)中的特殊需求。
食品加工:在食品包裝和脫氣過(guò)程中,干式真空泵確保食品的安全和衛(wèi)生。
科研領(lǐng)域:用于實(shí)驗(yàn)室的高真空實(shí)驗(yàn),提供無(wú)污染的真空環(huán)境。
干式真空泵有多種類(lèi)型,常見(jiàn)的有爪式干泵、螺桿式干泵和渦旋式干泵等。爪式干泵通過(guò)兩個(gè)相互嚙合的爪形轉(zhuǎn)子實(shí)現(xiàn)氣體的吸入和排出,具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、運(yùn)行平穩(wěn)的優(yōu)點(diǎn)。螺桿式干泵則利用兩根相互嚙合的螺桿轉(zhuǎn)子進(jìn)行氣體壓縮,適用于高流量和高真空度的場(chǎng)合。渦旋式干泵通過(guò)兩個(gè)相互錯(cuò)開(kāi)的渦旋盤(pán)來(lái)實(shí)現(xiàn)氣體的壓縮和排出,具有低噪音和高效率的特點(diǎn)。每種類(lèi)型的干式真空泵都有其的優(yōu)勢(shì)和適用場(chǎng)景,用戶(hù)可以根據(jù)具體需求選擇合適的類(lèi)型。
EBARA(荏原制作所)是日本*的工業(yè)設(shè)備制造商,成立于1912年,部位于東京。憑借百年技術(shù)積淀,荏原以“為地球環(huán)境和社會(huì)基礎(chǔ)設(shè)施提供創(chuàng)新解決方案”為使命,業(yè)務(wù)涵蓋水泵、風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)、環(huán)保設(shè)備及能源系統(tǒng)等領(lǐng)域,產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和*技術(shù)聞名全球。
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